CHARAKTERISTIKA
Triodové iontově sorpční vývěvy slouží k získávání velmi nízkých tlaků v oblasti ultravakua s vyloučením těžších uhlovodíků. Jsou efektivnější a stabilnější při čerpání vzácných plynů než diodové nebo diferenciální iontově sorpční vývěvy. Předností triodových vývěv je též skutečnost, že mají vyšší startovní tlak než jiné druhy iontově sorpčních vývěv.
Proud vývěvou může sloužit též pro indikaci tlaku a v omezené míře i pro hledání netěsností (jako testovací plyn může být např. použit kyslík).
Iontově sorpční vývěvy mohou být kombinovány s jinými akumulačními vývěvami. VAKUUM PRAHA nabízí kombinaci triodové iontově sorpční vývěvy a NEG (nevypařovaný getter).
FUNKČNÍ PRINCIP
V samostatném doutnavém výboji dochází k ionizaci molekul pomocí elektronů emitovaných z titanových katod. Tyto elektrony vznikají při rozprašovacím procesu způsobeným dopadem kladných iontů na povrch katody. Titan z katod je rozprašován na vnitřní povrchy stěn vývěvy.
1.
Chemicky aktivní plyny jsou vázány (getrovány) na rozprášeném titanovém povrchu a tvoří chemicky stabilní sloučeniny.
2.
Vodík difunduje dovnitř katod a navíc je též getrován na titanovém povrchu.
3.
Ionty vzácných plynů, vzniklé ve výboji, jsou neutralizovány při srážce s katodou, přičemž jejich kinetická energie se příliš nezmění. Energetické neutrální částice pak vniknou do anody nebo do stěn vývěvy, kde jsou „pohřbeny“ naprášeným titanem.
POPIS Jeden čerpací modul je tvořen dvěma katodami (složenými z titanových pásků)
a anodou (tvořená válečky z nerezové oceli). Na katodách je napětí -6 kV, anoda je uzemněná. Magnetické pole se vytváří pomocí permanentních feritových magnetů, vypékatelných do 250 °C.
VYUŽITÍ TRIODOVÝCH IONTOVĚ SORPČNÍCH VÝVĚV
- Laboratorní ultravakuové systémy
- Depoziční vakuové systémy
- Molekulární epitaxe
- Analýza povrchů pevných látek
- Urychlovače částic